半导体电子的应用

 

 

在许多半导体、电子行业中,压缩空气作为气动介质,通常被使用在灵敏的高科技设备来加工制造电子组件。压缩空气的污染会破坏其他工艺过程,导致成本昂贵的维护工作,在严重的情况下,还可能导致工厂全面停产。这对任何运营商而言都是一项大的资本投资。

因此,为了提高气动设备和系统的使用寿命和可靠性,保证产品质量,需要始终保护这些设备,对压缩空气进行净化和干燥处理。
 
压力、流量的要求 
任何需要压缩空气的场合对压缩空气的压力和流量都是有要求的。目前普遍的压力在0.7Mpa左右。在一些特殊场合如玻璃行业,空气压力要求在0.2~0.4Mpa左右。在某些军工企业,对压缩空气压力要求可能在几十Mpa。
 
干燥度的要求(及含水量或露点温度)
不同的工艺对压缩空气露点温度要求也不同,如用作仪表方面的压缩空气,压力露点一般要求在-40℃以下,而半导体芯片厂对压缩空气的压力露点要求在-70℃,但在多数场合,对压缩空气的露点温度要求在0℃以上就已足够。压缩空气的露点要求通常由干燥机来实现。
 
清洁度的要求(相对比较复杂,包括:粉尘颗粒、油雾、微生物、有害气体等)
由压缩空气过滤器来解决。分析使用数据和进行研究证明,压缩空气的污染将大大降低气动系统和元件的可靠性及寿命,导致工艺过程的破坏。由于压缩空气的污染,使元件的磨损增大2~7倍,由此引起元件损坏约占基数的80%。
 
AFE 是全球公认的高质量产品制造商,包括过滤器,干燥器,替换滤芯,分离器,吸附器,冷凝水排泄器,氮气发生器和其他产品。这些产品符合行业对洁净、干燥、技术上无油压缩空气和气体的具体要求;符合ISO8573空气质量标准的建议,符合欧洲压力设备的要求。
 
 
 



技术支持: AIRFILTER ENGINEERING